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【2h】

Fast diffusion of As in polycrystalline silicon during rapid thermal annealing

机译：快速热退火过程中as在多晶硅中的快速扩散

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Wilson, Scott R.; Paulson, W. M.; Gregory, R. B.; Gressett, J. D.; Hamdi, A. H.; McDaniel, Floyd Del. (Floyd Delbert), 1942-;
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年度 1984
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