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机译:Silicon-CMOS BEOL兼容的材料系统和片上光学互连组件的处理。
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机译:基于CmOs兼容LpCVD处理的低损耗,高对比度光波导:技术和实验结果
机译:采用高对比度光栅的超低损耗,基于芯片的空心波导