Reductie van behuizingsspanningen in een micro-mechanische druksensor

摘要

In een micromechanische sensor wordt een zeer kleine flexibele structuur mechanisch vervormd als gevolg van een te meten grootheid. Volgens verscheidene transductieprincipes is het mogelijk om deze vervormingen om te zetten in een elektrisch signaal. Dit meetsignaal is dus een waarde voor de te meten grootheid, een drukverschil in dit artikel. Het is van groot belang dat de mechanische vervorming alleen door het srukverschil bepaald wordt en niet door storingsverschijnselen wordt beinvloed. Het behuizen van gevoelige micromechanische sensoren blijkt vaak dergelijke hinderlijke storingen te introduceren. Veel gevallen zijn bekend waarbij de microsensor na het plaatsen in de behuizing niet meer correct bleek te werken, of zelfs volledig kapot ging. In dit artikel zal een oplossing voor het reduceren van behuizingsspanningen worden aangedragen. Een mechanische ontkoppelzone wordt geintroduceerd, die de behuizingsspanning reduceert, maar de spanning als gevolg van het drukverschil niet beinvloedt.