机译:等离子体增强化学气相沉积种植的氧氮化硅膜的光学性能
机译:各种衬底材料对等离子体增强化学气相沉积沉积的非晶硅氮氧化物薄膜微观结构和光学性能的影响
机译:使用等离子体增强的化学气相沉积技术制备的原位磷掺杂多晶硅钝化接触的有效吸收
机译:等离子体增强化学气相沉积法制备的氮氧化硅和氮化硅的电性能
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积沉积非晶硅和硅基电介质:在制造TFT和MOSFET中的应用
机译:CVD石墨烯上等离子增强化学气相沉积法制备的无转移反型石墨烯/硅异质结构
机译:用于集成光学应用的等离子增强化学气相沉积氮氧化硅层的优化