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【2h】

Micromachined capacitive displacement sensor for long-range nano-positioning

机译：用于远程纳米定位的微机械电容式位移传感器

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作者
Kuijpers Toon A.A.; Krijnen Gijs J.M.; Wiegerink Remco J.; Lammerink Theo S.J.; Elwenspoek Miko C.;
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作者单位

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年度 2005
总页数
原文格式 PDF
正文语种 {"code":"en","name":"English","id":9}
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