机译:反应共溅射沉积Er掺杂Al2O3薄膜的特性
机译:通过反应性串联共溅射通过钨掺杂Al_2O _3来提高溅射产量:工艺特性和所得薄膜性能
机译:GaAs和铟的反应共溅射沉积的In_xGa_(1-x)N透明导电In-xGa_(N)合金薄膜的电学和光学性质
机译:反应共溅射沉积Er / sup 3 + / :: Al / sub 2 / O / sub 3 /薄膜的特性用于光放大
机译:用于高k电介质和存储器应用的原子层沉积Al2O3和TiO2
机译:原子层沉积的Al2O3 / HfO2 / Al2O3三层结构在非易失性存储应用中具有出色的电阻切换特性
机译:射频磁控共溅射制备al2O3 / al族al2O3 / siO2叠层薄膜的电荷俘获特性