Producción y caracterización de recubrimientos del sistema Y-Ba-Cu-O producidos por medio de la técnica de rocío pirolítico / Production and characterization of Y-Ba-Cu-O system films produced by ultrasonic spray pyrolysis

摘要

Se realizaron depósitos del sistema Y-Ba-Cu-O a partir de diferentes precursores y sobre diferentes superficies usando la técnica de Rocío Pirolítico Ultrasónico. Como sustratos se utilizaron MgO, Si y SiO2 con y sin capa búfer de YSZ. Los depósitos se realizaron durante una hora a 600°C con un equipo RPU mejorado que permite depósitos de larga duración y se realizó un tratamiento térmico intensivo. Se realizaron caracterizaciones de tipo elemental, cristalino, topográfico y eléctrico a las dieciocho muestras mostrando Exceso de CuO y deficiencia de Ba, películas policristalinas con fases binarias, ternarias ycuaternarias, bajas rugosidades de película y un comportamiento eléctrico de tipo semiconductor. / Abstract. Y-Ba-Cu-O films were made from different precursors and deposited over different surfaces using Ultrasonic Spray Pyrolysis technique. The subtrates used were MgO, Si and SiO2 with and without a YSZ buffer layer. The films were produced at 600°C and 1 hour with and improved USP equipment that allows long-time deposition and an intensive thermal treatment has done. Characterization to the eighteen samples were made, as follows: Elemental, crystalline, topographic and electric analysis, showing CuO excess and Ba deficiency, polycrystalline films with binary, ternary and cuaternary phases, films low roughnesses and an semiconductor-like electric behavior.