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【2h】

Improved interfacial quality of GaAs metal-oxide-semiconductor device with NH 3 -plasma treated yittrium-oxynitride as interfacial passivation layer

机译:改善Gaas金属氧化物半导体器件的界面质量,采用NH 3 -plasma处理的Yittrium-oxynitride作为界面钝化层

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