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Herstellung und Untersuchung von dünnen kohlenstoffhaltigen Filmen und ihre mögliche Anwendung als Materialien mit niedriger Dielektrizitätskonstante

机译:薄碳质薄膜的制备与研究及其作为低介电常数材料的潜在应用

著录项

  • 作者

    Klocek Jolanta;

  • 作者单位
  • 年度 2012
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