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【2h】

Integrated design for an optically driven micromachined silicon pressure transducer

机译：光学驱动微机械硅压力传感器的集成设计

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Vincent David Robert;
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年度 1993
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机译：多孔硅微机械加工将光纤定位在硅集成电路中
2. Capacitive micromachined ultrasonic transducers with diffraction-based integrated optical displacement detection [J] . Hall N.A., Wook Lee, Degertekin F.L. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control . 2003,第11期

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3. Capacitive micromachined ultrasonic transducers with diffraction-based integrated optical displacement detection [J] . Hall N.A., Wook Lee, Degertekin F.L. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control . 2002,第11期

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