机译:利用模式定位的传感应用耦合MEMS谐振器综述
机译:模式中的实际限制在模型中的局部抑制局部漏洞耦合谐振器
机译:利用非线性来提高基于静电耦合MEMS谐振器的模式局部质量传感器的灵敏度
机译:电耦合MEMS谐振器中的共模抑制,利用模式定位实现传感器应用
机译:压电板中横向变化厚度模式的二维标量微分方程及其在声波谐振器传感器中的应用。
机译:低G MEMS加速度计具有高灵敏度低非线性和基于3-DOF弱耦合谐振器的模式定位的大动态范围
机译:基于三个电耦合谐振器的局部模式MEMS电势传感器