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Effects of mechanical and electrical coupling on the parametric sensitivity of mode localized sensors

机译:机械和电气耦合对模式局部传感器参数灵敏度的影响

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摘要

We compare and contrast the effects of two distinctly different mechanisms of coupling (mechanical and electrical) on the parametric sensitivity of micromechanical sensors utilizing mode localization for sensor applications. For the first time, the strong correlation between mode localization and the phenomenon of 'eigenvalue loci-veering' is exploited for accurate quantification of the strength of internal coupling in mode localized sensors. The effects of capacitive coupling-spring tuning on the parametric sensitivity of electrically coupled resonators utilizing this sensing paradigm is also investigated and a mass sensor with sensitivity tunable by over 400% is realized.
机译:我们比较并对比了两种明显不同的耦合机制(机械和电气)对使用模式定位的微机械传感器的参数灵敏度的影响。首次利用模式定位与“特征值轨迹变化”现象之间的强相关性,对模式定位传感器中的内部耦合强度进行了精确量化。还研究了电容耦合弹簧调谐对利用这种感测范式的电耦合谐振器的参数灵敏度的影响,并实现了灵敏度可调超过400%的质量传感器。

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