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机译:利用模式定位的传感应用耦合MEMS谐振器综述
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机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
机译:低G MEMS加速度计具有高灵敏度低非线性和基于3-DOF弱耦合谐振器的模式定位的大动态范围
机译:用于传感器应用的模式定位的电耦合mEms谐振器中的共模抑制