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Hybrid Silicon Nanoelectromechanical Devices: Physics and Applications (Invited Talk)

机译：混合硅纳米机电设备：物理和应用（邀请演讲）

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作者
Mizuta Hiroshi; Tsuchiya Yoshishige; Oda S;
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年度 2010
总页数
原文格式 PDF
正文语种 {"code":"en","name":"English","id":9}
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