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Microprocessor implemented self validation of thick-film PZT/Silicon accelerometer

机译：微处理器实现了厚膜pZT /硅加速度计的自我验证

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作者
Beeby S P; Grabham N J; White N M;
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作者单位

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年度 2001
总页数
原文格式 PDF
正文语种 {"code":"fr","name":"French","id":14}
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1. Microprocessor implemented self-validation of thick-film PZT/silicon accelerometer [J] . S. P. Beeby, N. J. Grabham, N. M. White Sensors and Actuators, A. Physical . 2001,第1a3期

机译：微处理器实现了厚膜PZT /硅加速度计的自我验证
2. Design and fabrication of a micromachined silicon accelerometer with thick-film printed PZT sensors [J] . Beeby SP., White NM., Ross JN. Journal of Micromechanics and Microengineering . 2000,第3期

机译：具有厚膜印刷PZT传感器的微机械硅加速度计的设计与制造
3. An investigation into the effect of modified firing profiles on the piezoelectric properties of thick-film PZT layers on silicon [J] . P. Glynne-Jones, S. P. Beeby, P. Dargie, Measurement Science & Technology . 2000,第5期

机译：研究改进的烧成轮廓对硅上厚膜PZT层的压电性能的影响
4. Thick-film PZT transducers for silicon micro machined sensor arrays [C] . Hirsch, S., Doerner, . 2005

机译：用于硅微机械传感器阵列的厚膜PZT传感器
5. Post-silicon Validation of Radiation Hardened Microprocessor, Embedded Flash and Test Structures. [D] . Gogulamudi, Anudeep Reddy. 2016

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6. Design and Implementation of a Micromechanical Silicon Resonant Accelerometer [O] . Libin Huang, Hui Yang, Yang Gao, 2013

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7. Microprocessor implemented self-validation of a thick-film PZT/silicon accelerometer [O] . Beeby SP, Grabham NJ, White NM 2002

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