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机译:在微机电系统(mEms)技术中使用的CmOs制造工艺
Chatwin Chris R;
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机译:微机电系统(MEMS):面向21世纪的技术
机译:采用CMOS-MEMS技术的垂直一体化加热器MOS型气体传感器的设计与制作
机译:与化学镀镍工艺兼容的CMOS-MEMS探针芯片的制造技术
机译:使用串联微机电系统(MEMS)开关设计和制造两个开关式超导微带发夹式滤波器
机译:CMOS MEMS制造技术和器件
机译:CmOs mEms制造技术和设备
机译:2015财年微机电系统(mEms)制造课程项目回顾。
机译:晶片级封装的微机电系统(MEMS)和互补金属氧化物半导体(CMOS)基板
机译:微机电系统(MEMS)和互补金属氧化物-半导体(CMOS)基片的晶圆级包装
机译:利用MEMS(微机电系统)技术对流体系统进行预兆健康监测
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