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【2h】

Separately contacted monocrystalline silicon double-layer structure with an amorphous silicon dioxide barrier made by wafer bonding

机译：通过晶片键合与非晶硅隔离层分开接触的单晶硅双层结构

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作者
Takashina Kei; Nagase M; Nishiguchi K; Ono Y; Omi H; Fujiwara A; Fujisawa T; Muraki K;
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作者单位

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年度 2010
总页数
原文格式 PDF
正文语种 {"code":"en","name":"English","id":9}
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