机译:使用各向异性湿蚀刻实现具有硅(111)表面的低损耗缝隙波导
机译:通过各向异性湿法刻蚀在绝缘体上硅衬底上具有非晶硅覆盖层的长周期波导光栅
机译:使用各向异性湿蚀刻技术制造的低损耗硅波导和光栅耦合器
机译:通过减少表面粗糙度实现的低损耗硅缝隙波导
机译:超高真空扫描隧道显微镜的开发。溴暴露下硅(111)和锗(111)表面蚀刻的扫描隧道显微镜研究
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:使用各向异性湿法蚀刻实现具有硅(111)表面的低损耗缝隙波导