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机译:集成在硅和氮化硅波导上的宽带双层石墨烯开关
Abdollahi Shiramin Leili; Van Thourhout Dries;
机译:氮化硅层氢化非晶硅波导中的宽带波长转换
机译:用于3-D光子电路和器件的单片集成多层氮化硅硅波导平台
机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:硅氮化硅平台高品质的混合双层硅,集成光子应用
机译:氮化硅波导平台上的石墨烯光电器件
机译:超宽带和紧凑型硅石墨烯集成波导模式滤波器
机译:石墨烯调制器和集成在硅和氮化硅波导上的开关
机译:微型机械组件压力传感器,具有在硅基板上提供二氧化硅层的膜,以及集成在二氧化硅和氮化硅层之间的压电或压阻导电条
机译:在用于制造集成半导体电路的半导体衬底上的含硅层上制造氮化硅掩模的步骤包括:在含硅层上形成焊盘氧化层,并进行进一步处理
机译:一种制造包含硅波导和氮化硅波导的混合层的方法
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