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【2h】

Low-loss singlemode PECVD silicon nitride photonic wire waveguides for 532-900 nm wavelength window fabricated within a CMOS pilot line

机译：用于在CmOs导频线内制造的532-900 nm波长窗口的低损耗单模pECVD氮化硅光子线波导

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Subramanian Ananth; Neutens P; Dhakal Ashim; Jansen R; Claes T; Rottenberg X; Peyskens Frédéric; Selvaraja shankar kumar; Helin P; Du Bois B; Leyssens K; Severi S; Deshpande P; Baets Roel; Van Dorpe P;
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年度 2013
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