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【2h】

Conformal nanocoatings for surface engineering of particles by thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition using a rotary reactor

机译：通过使用旋转反应器的热和等离子体增强原子层沉积来用于表面工程或颗粒的共形纳米涂层

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Rampelberg Geert; Longrie Delphine; Deduytsche Davy; Haemers Johan; Driesen Kris; Detavernier Christophe;
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年度 2014
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原文格式 PDF
正文语种 eng
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Conformal nanocoatings for surface engineering of particles by thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition using a rotary reactor

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