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机译:了解光刻胶中的非线性溶解速率
Sean D. Burnsa; Allen B. Gardinerb; V. J. Krukonisc; Paula M. Wetmorec; Jodie Lutkenhausa; Gerard M; Lewis W. Flanagind; C. Grant Willsona;
机译:溶出速率监测工具测量EUV光致抗蚀剂溶解
机译:溶出度监控工具,用于测量EUV光致抗蚀剂的溶出度
机译:石膏在水溶液中的表面控制溶解速率显示出非线性溶解动力学
机译:了解光刻胶加工过程中的分子尺度效应。
机译:通过溶酶体中具有生理相关金属离子饱和的连续流动系统了解溶解速率
机译:制备2-甲基-5-甲基亚磺酰基-4-(1-吡咯基)苯并胍基胍基甲基硫酸盐的方法,其溶解度有所提高,并且物理制备方法也有所不同。
机译:重氮醌敏化的基于聚酰胺酸的光致抗蚀剂组合物,在碱性显影液中的溶解速率降低
机译:制备在碱性显影液中具有降低的溶解速率的重氮醌敏化的聚酰胺酸基光致抗蚀剂组合物的方法
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