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CVD Flow Field Modeling Using the Quiet Direct Simulation (QDS) Method

机译：使用安静直接模拟（QDs）方法的CVD流场建模

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H. M. Cavea; C. -w. Lima; M. C. Jermya; C. -s. Wub; M. R. Smithc; S. P. Krumdiecka;
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年度 2015
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