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Fabrication of integrated diffractive micro-optics for MEMS applications

机译：用于mEms应用的集成衍射微光学器件的制造

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L. R. Senesaca; R. H. Farahib; J. L. Corbeilb; D. D. Earlb; S. Rajicb; P. G. Datskosb;
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年度 2015
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