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Tilted Beam Piezoresistive Displacement Sensor: Design, Modeling, and Characterization

机译：倾斜梁压阻式位移传感器：设计，建模和表征

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作者
Mohammad Maroufi; Student Member; Ali Bazaei; Ali Mohammadi; S. O. Reza Moheimani;
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年度 2016
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1. Tilted Beam Piezoresistive Displacement Sensor: Design, Modeling, and Characterization [J] . Maroufi Mohammad, Bazaei Ali, Mohammadi Ali, Microelectromechanical Systems, Journal of . 2015,第5期

机译：倾斜束压阻位移传感器：设计，建模和特性
2. A 2DOF SOI-MEMS Nanopositioner With Tilted Flexure Bulk Piezoresistive Displacement Sensors [J] . Maroufi Mohammad, Moheimani S. O. Reza Sensors Journal, IEEE . 2016,第7期

机译：具有倾斜挠性大块压阻位移传感器的2DOF SOI-MEMS纳米定位器
3. Design, fabrication and characterization of an annularly grooved membrane combined with rood beam piezoresistive pressure sensor for low pressure measurements [J] . Li Chuang, Xie Jianbing, Cordovilla Francisco, Sensors and Actuators, A. Physical . 2018,第期

机译：环形槽膜的设计，制造和表征与Rood梁压阻压力传感器结合的低压测量
4. Characterization of a Tilted-beam Piezoresistive MEMS Sensor with Current-drive Readout Circuit [C] . Nastaran Nikooienejad, Mohammad Maroufi, S. O. Reza Moheimani Annual American Control Conference . 2019

机译：具有电流驱动读出电路的斜梁压阻MEMS传感器的特性
5. Modeling and Validation of Performance Limitations for the Optimal Design of Interferometric and Intensity-Modulated Fiber Optic Displacement Sensors. [D] . Moro, Erik Allan. 2012

机译：干涉测量和强度调制光纤位移传感器优化设计的性能极限建模和验证。
6. Characterization Modeling and Design Parameters Identification of Silicon Carbide Junction Field Effect Transistor for Temperature Sensor Applications [O] . Tarek Ben Salah, Sofiane Khachroumi, Hervé Morel 2010

机译：用于温度传感器的碳化硅结型场效应晶体管的特性建模和设计参数辨识
7. Tilted beam piezoresistive displacement sensor:design, modeling and characterization [O] . Maroufi, Mohammad, Bazaei, Ali, Mohammadi, Ali, 2015

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