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机译:用于微型热声制冷机的微机械堆叠组件
Chialun Tsai; Reh-lin Chen; Chung-lung Chen; Jeffrey Denatale;
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机译:La2O3 / SnO2堆叠结构与微机械加热板的CO2传感特性
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机译:多个微型拾取元件,用于元件堆叠和/或拾取和放置过程
机译:用于组件堆叠和/或拾取和放置过程的多个微型拾取元件
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