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Design-Aware Mask Inspection

机译：设计意识掩模检查

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Abde Ali Kagalwalla; Puneet Gupta; Chris Proglery; Steve Mcdonaldy;
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年度 2015
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1. Design-Aware Mask Inspection [J] . Kagalwalla A.A. Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, IEEE Transactions on . 2012,第5期

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2. Design-Aware Defect-Avoidance Floorplanning of EUV Masks [J] . Kagalwalla A. A., Gupta P. Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on . 2013,第1期

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4. Design-aware mask inspection [C] . 2010 IEEE/ACM International Conference on Computer-Aided Design . 2010

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