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A MONOLITHIC KNUDSEN PUMP WITH 20 sccm FLOW RATE USING THROUGH-WAFER ONO CHANNELS

机译：使用通过通道的通道，具有20 sccm流量的整体式KNaRDsEN泵

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Seungdo An; Yutao Qin; Yogesh B. Gianch;
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年度 2015
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