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【2h】

Fabrication of Porous Al2O3 and TiO2 Thin film hybrid composite using Atomic Layer Deposition and Properties Study

机译：原子层沉积制备多孔al2O3和TiO2薄膜杂化复合材料及性能研究

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S. J. Park; B. K. Ahn; P. S. Alegaonkar; H. J. Shin; J. B. Yooa;
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年度 2015
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