机译:SF6等离子体预处理溅射氧化钇膜的等离子体蚀刻行为
机译:In和Ga掺杂的ZnO薄膜在电感耦合BCl_3 / Cl_2 / Ar等离子体中的腐蚀行为及机理
机译:人脐静脉内皮细胞在等离子浸没离子注入和沉积以及等离子刻蚀产生的微图案非晶氢化碳膜上的行为
机译:从S / D区域进行等离子刻蚀去除高k后,原位等离子体处理对高k膜的影响
机译:控制在感应耦合等离子体中蚀刻过程中形成和去除涂层的相对速率。
机译:溅射沉积氟化钇薄膜的结构和氟等离子体刻蚀行为
机译:通过在溅射铂电极上聚合的纳米多孔和纳米蛋白膜等离子体的扩散控制质量传输的表征