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VERSATILE N-TYPE PROFILE ENGINEERING BY CONTROLLING ARSENIC SURFACE SEGREGATION IN SILICON RPCVD

机译：通过控制硅RpCVD中的砷表面分离来实现多种N型轮廓工程

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M. Popadić; F. Sarubbi; T. L. M. Scholtes; L. K. Nanver;
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年度 2015
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