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机译：一种基于新的MEMS基于MEMS的可变电容，使用静电垂直梳驱动致动器和辅助悬臂梁
机译：硬质双级执行器控制系统的对比设计磁盘驱动器
机译：使用微机电系统（MEMS）刮擦驱动执行器的现场可编程机器人阵列（FPRA）的架构，设计和分析。
机译：具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译：由桥梁和垂直梳状驱动器构成的三维sOI-mEms
机译：polymEms执行器：基于聚合物的微机电（mEms）执行器，具有宏观作用
