机译:低k介电膜中铜的俘获和迁移的SIMS研究
机译:低k倍半硅氧烷基金属间介电膜中的辐射诱导电荷俘获
机译:CVD低k介电膜的椭圆偏振光谱和椭圆孔隙率研究
机译:通过对Cu膜表面进行等离子体处理,提高cu / cap势垒/ low-k介质堆叠的界面粘合强度和热稳定性
机译:SiLK低k聚合物电介质与钽基扩散阻挡/粘附促进剂薄膜的集成和相容性研究。
机译:薄膜生物传感器芯片同时检测巨噬细胞迁移抑制因子(MIF)基因中的微卫星重复序列和SNPs及其在农村田间研究中的应用
机译:在低k(k = 2.5)电介质上研究超薄al 2 O 3薄膜作为Cu扩散阻挡层
机译:使用X射线反射率的低k介电薄膜中的孔表征:X射线孔隙率测定法