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机译:电化学腐蚀制备三维硅基光子晶体
S. Matthias; R. Hillebr; J. Schilling;
机译:自对准双向电化学刻蚀法制备的硅三维光子晶体结构自发控制硅纳米晶体
机译:同时多方向刻蚀制备的三维光子晶体
机译:通过硅的电化学刻蚀制造的二维光子晶体中的缺陷工程
机译:通过电化学蚀刻制备的三维硅基光子晶体
机译:光电化学刻蚀制备的柱状多孔碳化硅的形成与表征。
机译:质子束写入结合电化学刻蚀法制备的硅基光子晶体
机译:形成蚀刻掩模的方法,制造三维结构的方法和制造三维光子晶体激光器件的方法
机译:利用单平面刻蚀掩模和深反应离子/等离子刻蚀制造三维光子晶体的方法
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