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“Damage Free ” Cleaning for advanced BEOL Interconnections

机译：高级BEOL互连的“无损伤”清洁

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Lucile Broussous; Kristell Courouble; Emmanuel Richard;
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1. "Damage free" cleaning for advanced BEOL interconnections [J] . Broussous L., Courouble K., Richard E., Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2012,第Null期

机译：“无损伤”清洁，用于高级BEOL互连
2. "Damage free" cleaning for advanced BEOL interconnections [J] . Broussous L., Courouble K., Richard E., Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2012,第Null期

机译：“无损伤”清洁，用于高级BEOL互连
3. A Theoretical and Experimental Study of Damage-Free BEOL Cleaning with Megasonic Agitation [J] . Jeff Lauerhaas, Yi Wu, Mario Bran, Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2003,第0期

机译：超声速搅拌无损BEOL清洗的理论和实验研究
4. "Damage Free" Cleaning for advanced BEOL Interconnections [C] . Lucile Broussous, Kristell Courouble, Emmanuel Richard, International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces . 2012

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5. Control of cavitation using dissolved carbon dioxide for damage-free megasonic cleaning of wafers . [D] . Kumari, Sangita. 2011

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6. Test Pattern Design for Plasma Induced Damage on Inter-Metal Dielectric in FinFET Cu BEOL Processes [O] . Chi Su, Yi-Pei Tsai, Chrong-Jung Lin, 2020

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7. Damage-Free Post-CMP Cleaning Solution for Low-k Fluorocarbon on Advanced Interconnects [O] . Xun Gu, Takenao Nemoto, Akinobu Teramoto, 2015

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