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Realization of Silicon Nitride Template for Nanoimprint: A First Result

机译：用于纳米压印的氮化硅模板的实现：第一个结果

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Liu Zewen; A Zhang Tian-ruo; Liu Litian; Li Zhijian;
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年度 2015
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2. Sub-50 nm Template Fabrications for Nanoimprint Lithography Using Hydrogen Silsesquioxane and Silicon Nitride [J] . Jae Yeob Shim, Kyu-Ha Baek, Kun-Sik Park, Journal of nanoscience and nanotechnology . 2010,第5期

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