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A 4096 Element Continuous Facesheet MEMS Deformable Mirror for High-Contrast Imaging

机译：用于高对比度成像的4096元件连续面板mEms可变形镜

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S. A. Cornelissen; P. A. Bierden; T. G. Bifano;
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年度 2015
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1. 4096-element continuous face-sheet MEMS deformable mirror for high-contrast imaging [J] . Steven A. Cornelissen Paul A. Bierden Thomas G. Bifano and Charlie V. Lam Journal of Micro/Nanolithography,MEMS and MOEMS . 2009,第3期

机译：用于高对比度成像的4096元件连续面板MEMS变形镜
2. Modeling, simulation, and open-loop control of a continuous facesheet MEMS deformable mirror [J] . Curtis R. Vogel, Qiang Yang Journal of the Optical Society of America, A. Optics, image science, and vision . 2006,第5期

机译：连续面板MEMS变形镜的建模，仿真和开环控制
3. A 45-element continuous facesheet surface micromachined deformable mirror for optical aberration correction [J] . Weimin Wang, Fangrong Hu, Qiang Wang, AIP Advances . 2014,第3期

机译：用于光学像差校正的45元件连续面板表面微加工变形镜
4. A 4096 Element Continuous Facesheet MEMS Deformable Mirror for High-Contrast Imaging [C] . S.A. Cornelissen, P.A. Bierden, T.G. Bifano Conference on MEMS Adaptive Optics; 20080122-24; San Jose,CA(US) . 2008

机译：用于高对比度成像的4096元素连续式MEMS变形镜
5. Infinite-dimensional modelling and control of a MEMS deformable mirror with applications in adaptive optics [D] . Badkoubeh-Hazave, Amir. 2015

机译：MEMS变形镜的无限维建模和控制及其在自适应光学中的应用
6. MEMS Deformable Mirrors for Space-Based High-Contrast Imaging [O] . Rachel E. Morgan, Ewan S. Douglas, Gregory W. Allan, 2019

机译：用于天基高对比度成像的MEMS变形镜
7. A 45-element continuous facesheet surface micromachined deformable mirror for optical aberration correction [O] . Weimin Wang, Fangrong Hu, Qiang Wang, 2014

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