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【2h】

Gallium nitride-on-silicon micromechanical overtone resonators and filters

机译：硅氮化镓微机械谐波谐振器和滤波器

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Azadeh Ansari; Vikrant J. Gokhale; Vikram A. Thakar; John Roberts; Mina Rais-zadeh;
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年度 2011
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