机译：使用紫外线可固化正性电子束光刻胶，通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
机译：使用电子束光刻和光刻到图案亚微米互连电极阵列的有趣路径，用于传感应用
机译：电子扫描和电子束光刻系统中基于图像的硅光电二极管基于图像的原位电子束漂移检测
机译：用于微和纳米光学应用的电子束光刻
机译：开发用于微/纳米光子学和电子学的三维光刻和化学光刻。
机译：单数字纳米电子束光刻和像差校正扫描透射电子显微镜
机译：通过电子束光刻制造的三维衍射微米和纳米光学元件
机译：用于微米和纳米光学应用的电子束光刻
