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机译:使用密集等离子聚焦装置的EUV(13.5nm)光产生
William Partloa; Igor Fomenkova; Daniel Birxb;
机译:CO 2激光产生的等离子体中锡离子产生13.5nm EUV辐射的研究
机译:激光辅助对置等离子聚焦装置作为EUV光刻的光源
机译:密集等离子体聚焦装置在材料科学实验中产生冲击波
机译:EUV(13.5-NM)使用致密等离子体聚焦装置的光发电
机译:使用激光散射技术研究密集等离子体焦点中的等离子体行为。
机译:所选放射性核素的应用用于监测密集等离子体聚焦产生的D–D反应设备
机译:密集等离子聚焦装置作为EUV光刻光源的优化
机译:聚焦装置中高能粒子和等离子体的产生和诊断
机译:在使EUV光从等离子发射的EUV光源中,EUV曝光设备(EUV曝光设备)转换成等离子,将产生的
机译:航天器推进驱动装置具有等离子点火装置,该等离子点火装置向聚焦装置的聚焦区域提供用于在等离子体介质内产生冲击波的材料。
机译:极紫外光产生装置以及用于控制极紫外光的重力位置中心的方法
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