机译:大范围,高分辨率的多路复用光纤低相干高相干干涉测量系统
机译:通过低相干相移干涉术进行的MEMS轮廓测量:光谱对高精度测量的影响
机译:使用环形光源和偏振相移干涉术测量具有减少的干涉空间相干伪影的光学表面的表面形状误差
机译:使用频闪干涉系统结合相干感测和相位信息进行动态MEMS测量
机译:激光干涉法用于表征微机电系统(MEMS)的静态和动态行为。
机译:用于检测使用相位敏感的光学相干断层成像用组合的软组织肿瘤的弹性非接触式测量聚焦吹气系统
机译:使用相敏光学相干断层扫描与聚焦的空气吹系统一起检测软组织肿瘤的弹性的非接触测量