首页> 外文OA文献 >Dynamic MEMS Measurement Using a Strobed Interferometric System with Combined Coherence Sensing and Phase Information
【2h】

Dynamic MEMS Measurement Using a Strobed Interferometric System with Combined Coherence Sensing and Phase Information

机译:使用具有组合相干传感和相位信息的选通干涉系统进行动态mEms测量

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号