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DESIGN AND TESTING OF MICROMACHINED FABRY-PEROT PRESSURE SENSORS FOR AERODYNAMIC APPLICATIONS

机译：气动应用的微机械燃烧式压力传感器的设计与试验

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M. F. Miller; M. G. Allen; R. L. Bayt; K. S. Breuer; Cambridge Ma;
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年度 2015
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