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Frequency Domain Thickness Measurement Approach for Microscale Multilayered Structures

机译：微尺度多层结构的频域厚度测量方法

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Chen Li; Cetin Cetinkaya;
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年度 2014
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1. Frequency Domain Thickness Measurement Approach for Microscale Multilayered Structures [J] . Chen Li, Cetin Cetinkaya IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement . 2006,第1期

机译：微型多层结构的频域厚度测量方法
2. A simple method for extracting material parameters of multilayered MEMS structures using resonance frequency measurements [J] . Chao Sun, Zai-Fa Zhou, Wei-Hua Li, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2014,第7期

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