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Ten-micrometer-thick Silicon Diaphragm Used in Condenser Microphone

机译：用于电容式麦克风的10微米厚的硅隔膜

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Naoki Kimori; Yuichiro Kumai; Shinsuke Hishinuma; Tsuyoshi Ikehara; Ryutaro Maeda; Yasushiro Nishioka;
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年度 2016
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