机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:半导体应用材料的合成:通过低频射频等离子体辅助金属有机化学气相沉积制备的氮氧化硼
机译:射频功率对等离子体增强化学气相沉积制备的硼掺杂非晶碳/ n型硅结光伏性能的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积法制备的磷和硼掺杂氮氧化硅的表征
机译:等离子体增强了硅薄膜的化学气相沉积:利用等离子体诊断技术表征不同频率和气体成分下的薄膜生长。
机译:CVD石墨烯上等离子增强化学气相沉积法制备的无转移反型石墨烯/硅异质结构
机译:表征磷和硼掺杂的氮氧化硅制备的等离子体增强化学气相沉积