首页> 外文OA文献 >NUMERICAL SIMULATION OF THE EFFECTS OF DIFFERENT COATINGS ON GRAPHITE SUSCEPTOR FOR THE INDUCTION PROCESS OF POLYCRYSTALLINE SILICON
【2h】

NUMERICAL SIMULATION OF THE EFFECTS OF DIFFERENT COATINGS ON GRAPHITE SUSCEPTOR FOR THE INDUCTION PROCESS OF POLYCRYSTALLINE SILICON

机译:不同涂层对多晶硅诱导过程中石墨敏感剂影响的数值模拟

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