机译:低温退火电化学生长的二氧化硅在(100)硅上的低表面重组速度
机译:Cat-CVD技术中的低温杂质掺杂实现了晶体硅表面上极低的复合速度
机译:使用动态沉积的远程等离子体氮化硅膜在低电阻率n型和p型晶体硅上的极低表面复合速度
机译:通过在硝酸中电化学生长的二氧化硅实现的低表面重组速度
机译:研究4H-碳化硅-碳化硅上低温原子沉积的氧化物及其对碳化硅/二氧化硅界面的影响。
机译:PECVD对低温生长的掺硼氢化晶体硅的退火
机译:微波等离子体余辉氧化在低温下生长的氟化和N2O等离子体退火的超薄氧化硅的基本电性能