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【2h】

Stroboscopic Interferometer System for Dynamic MEMS Characterization

机译：用于动态mEms表征的频闪干涉仪系统

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Matthew R. Hart; Robert A. Conant; Kam Y. Lau; Richard S. Muller; Life Fellow;
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年度 2000
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1. Stroboscopic interferometer system for dynamic MEMS characterization [J] . Hart M.R., Conant R.A. Journal of Microelectromechanical Systems . 2000,第4期

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