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【2h】

Stroboscopic Interferometer System for Dynamic MEMS Characterization

机译：用于动态mEms表征的频闪干涉仪系统

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Matthew R. Hart; Robert A. Conant; Kam Y. Lau; Richard S. Muller; Life Fellow;
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年度 2000
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1. Stroboscopic interferometer system for dynamic MEMS characterization [J] . Hart M.R., Conant R.A. Journal of Microelectromechanical Systems . 2000,第4期

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2. Stroboscopic supercontinuum white-light interferometer for MEMS characterization [J] . K. Hanhijarvi, I. Kassamakov, V. Heikkinen, Optics Letters . 2012,第10期

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3. Traceable methods for vertical scale characterization of dynamic stroboscopic scanning white-light interferometer measurements [J] . Heikkinen V., Kassamakov I., Seppa J., Applied optics . 2015,第35期

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