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机译:通过放电加工和化学蚀刻制造微电极阵列
Timothy A. Fofonoff; Student Member; Sylvain M. Martel; Nicholas G. Hatsopoulos; John P. Donoghue; Ian W. Hunter;
机译:使用微线放电加工制造顺应性高纵横比硅微电极阵列
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机译:专用于电磁激励的微电极阵列的设计与制作
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