机译:改善RF-MEMS的可靠性:具有嵌入式主动自恢复机制的微开关设计的机械方面和实验测试,以抵消静止
机译:超净封装MEMS器件的粘着力和动态机械抗粘解决方案的实验研究
机译:恢复力增强型RF MEMS电容开关的设计与实验验证,具有静力回收电极
机译:一种克服RF MEMS开关静态问题的机械方法
机译:在微米/纳米尺度上表征机械性能:MEMS的静摩擦,高频迈克尔逊干涉测量法和碳纳米纤维。
机译:研究各种操作条件下RF MEMS开关故障模式的耦合场多物理场建模方法
机译:基于金属对金属静摩擦的双稳态RF-mEms开关电容器
机译:坚固,可靠,射频(RF)微机电系统(mEms)电容开关